中國，上海—2024年3月20日，半導(dǎo)體行業(yè)盛會 SEMICON China 2024啟幕，全球高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商德國PVA TePla集團再次亮相，并向行業(yè)展示其最新打造的國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備“SiCN”。該設(shè)備專為中國市場定制，并結(jié)合半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)特點，將德國的設(shè)計經(jīng)驗和理念與中國本土化生產(chǎn)配套能力優(yōu)勢聯(lián)合，采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產(chǎn)碳化硅晶體，計劃于2024年第二季度投入市場。

　　PVA TePla亮相SEMICONChina2024

　　“作為PVA TePla在華打造的首款國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備，‘SiCN’旨在幫助我們更好地滿足本土化需求，為中國市場提供成熟穩(wěn)定的工藝設(shè)備，進一步幫助合作伙伴提升市場競爭力?！钡聡鳳VA TePla集團半導(dǎo)體業(yè)務(wù)中國區(qū)負責人謝秀紅表示，“中國已成為全球第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中碳化硅襯底制造的重要基地。PVA TePla在晶體生長設(shè)備設(shè)計和制造領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗，未來將持續(xù)致力于加強本土化供應(yīng)鏈建設(shè)，完善本土團隊的技術(shù)服務(wù)能力，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。”

　　打造首款國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備

　　在中國，電動汽車和諸多新興行業(yè)的蓬勃發(fā)展為碳化硅襯底材料帶來廣闊機遇。碳化硅半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)技術(shù)日漸成熟穩(wěn)定，并已形成相當?shù)墓I(yè)規(guī)模。作為最早將碳化硅晶體設(shè)備引入中國市場的企業(yè)之一，德國PVA TePla集團始終致力于融合中德前沿技術(shù)優(yōu)勢。“SiCN”融匯了中國的本土化采購、生產(chǎn)配套能力和德國的技術(shù)積累和傳承，通過設(shè)備更好的可靠性和一致性運行，有效提高良品率，在降低制造成本的同時達到更優(yōu)效益，幫助下游客戶有效提高最終產(chǎn)品的附加值和核心競爭力。

　　PVA TePla碳化硅晶體生長設(shè)備

　　·定制化：特定的晶體生長工藝通常是企業(yè)的高度機密，定制化晶體生長平臺對于驗證和優(yōu)化其工藝至關(guān)重要。PVA TePla可為客戶提供專業(yè)定制化解決方案，以滿足行業(yè)獨特的工藝和知識產(chǎn)權(quán)需求，從而實現(xiàn)無縫擴展以進行大規(guī)模生產(chǎn)。

　　·靈活性：“SiCN”的設(shè)計可采用和更換成熟供應(yīng)商的標準組件以及定制組件，保證設(shè)備可以使用最新的研發(fā)成果，實現(xiàn)持續(xù)的技術(shù)進步。

　　·可靠生產(chǎn)：“SiCN”系統(tǒng)設(shè)計緊湊，自動化程度高，可最大化節(jié)約整體運營空間，同時方便維護，可實現(xiàn)可靠的大規(guī)模生產(chǎn)。客戶還可整合如加料小車、多種真空泵選項和測量設(shè)備等其他部件，進一步提升系統(tǒng)功能。

　　·高生產(chǎn)效能：晶體生長過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長時間運行，因此優(yōu)異的能源效率可以實現(xiàn)更佳的成本效益。“SiCN”采用經(jīng)驗證的低能耗感應(yīng)線圈設(shè)計，實現(xiàn)高效率的感應(yīng)加熱，有效降低能耗，優(yōu)化生產(chǎn)成本。

　　德國PVA TePla集團已在全球范圍內(nèi)銷售SiC晶體生長系統(tǒng)，并與全球領(lǐng)先的主流碳化硅襯底材料供應(yīng)商共同研發(fā)并為其提供長晶設(shè)備，其設(shè)備穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量一致性，在大尺寸碳化硅材料的研發(fā)過程中起到了關(guān)鍵作用。

　　建立中國供應(yīng)鏈與本土化配套服務(wù)

　　目前，德國PVA TePla集團已在中國建立生產(chǎn)基地、演示中心及供應(yīng)鏈中心，旨在將高端設(shè)備國產(chǎn)化，以更好地助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提升和發(fā)展，特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產(chǎn)。同時，為了貼合本土市場需求，德國PVA TePla集團也在進一步完善本地團隊技術(shù)服務(wù)，加強與下游合作伙伴的研發(fā)合作，并且提供更加專業(yè)化、定制化的本地支持，幫助合作伙伴更加便捷、快速的實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)能力。

　　隨著中國成為全球碳化硅的重要生產(chǎn)基地，德國PVA TePla集團將持續(xù)深耕中國市場，加強本土化生產(chǎn)供應(yīng)與配套服務(wù)能力，深化本地創(chuàng)新研發(fā)合作，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。