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SK海力士宣布業(yè)界率先完成氖氣回收技術(shù)開發(fā),每年可節(jié)省400億韓元

發(fā)布日期：2024-04-07     422 次

4 月 2 日消息，SK 海力士于昨日宣布，已與韓半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體制造商 TEMC 成功合作開發(fā)了業(yè)界首個氖氣回收技術(shù)，每年可節(jié)省 400 億韓元（當(dāng)前約 2.14 億元人民幣）。

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由于地緣政治環(huán)境變化，氖氣等稀有氣體供應(yīng)緊張，價格飆升。韓國另一家半導(dǎo)體企業(yè)三星電子也計劃在芯片生產(chǎn)中對氖氣進行回收利用。

氖氣是準分子激光氣體的關(guān)鍵成分，對于半導(dǎo)體光刻工藝必不可少。而作為一種稀有氣體，氖氣化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，難以同其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，因此可通過分離純化實現(xiàn)回收再利用。

利用這一特點，SK 海力士同 TEMC 一道開發(fā)了系列氖氣回收裝置，將光刻工藝完成后環(huán)境中的氖氣進行收集和選擇性分離，分離后的氣體由 TEMC 方面進行純化，重新向 SK 海力士供應(yīng)。

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目前這套氖氣回收裝置的整體回收率為 72.7%，SK 海力士計劃未來將這一比例提升至 77%。

根據(jù) SK 海力士方面的統(tǒng)計，該回收技術(shù)有望每年降低 400 億韓元的氖氣采購成本，并降低約 12000 噸二氧化碳當(dāng)量的碳排放。


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