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日本首臺ASML EUV光刻機下月進駐Rapidus晶圓廠

發(fā)布日期:2024-11-18     341 次

11 月 15 日消息,《日本經(jīng)濟新聞》當(dāng)?shù)貢r間今日凌晨報道稱,日本先進半導(dǎo)體代工企業(yè) Rapidus 購入的第一臺 ASML EUV 光刻機將于 2024 年 12 月中旬抵達北海道新千歲機場,這也將成為日本全國首臺 EUV 光刻設(shè)備。

根據(jù) Rapidus 高管以往表態(tài),該光刻機是較早期的 0.33 NA 型號,而非目前全球總量不足 10 臺的 0.55 NA(High NA)款。

據(jù)悉本次整個空運任務(wù)將分多架次完成,新千歲機場還為這臺對精度要求極高、不耐振動的“龐然大物”對機場顛簸不平的路面進行了重新鋪設(shè);此外 ASML 已在千歲市建設(shè)了客戶服務(wù)中心,將支持該系統(tǒng)的接收。

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▲ ASML 的 0.33 NA EUV 光刻機 NXE:3800E 

按 Rapidus 此前的規(guī)劃,該公司定于 2025 年 4 月啟動先進制程原型線,該產(chǎn)線將擁有包括 EUV 光刻機在內(nèi)的共計 200 余臺設(shè)備。根據(jù)千歲市當(dāng)?shù)卣恼f法,Rapidus 的 IIM-1 晶圓廠截至上月底已完成 63% 的施工進度。

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▲ IIM-1 晶圓廠概念圖

除 Rapidus 外,日本未來還有至少兩家晶圓廠將先后導(dǎo)入先進的 EUV 光刻機:

美光 1-gamma(IT之家注:即 1c nm)制程 DRAM 內(nèi)存需使用 EUV,美光廣島工廠預(yù)計于 2025 年內(nèi)導(dǎo)入 EUV 光刻設(shè)備為 2026 年的量產(chǎn)做準(zhǔn)備;臺積電控股子公司 JASM 預(yù)定 2027 年投產(chǎn)的第二晶圓廠包含 6nm 產(chǎn)線,也需要 EUV 機臺。


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